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摘要:本申请涉及半导体制造技术领域,具体涉及一种改善DCB低厚度产品烧结时翘曲的方法,包括以下步骤:步骤一,在垫板的表面四周粘接第一瓷条和第二瓷条,随后在垫板的中心点粘接支撑柱,组成烧结治具;步骤二,将待烧结的瓷片以及铜箔先后依次摆放在所述烧结治具内,摆放完成后进行第一面覆铜烧结,得到单面覆铜半成品;所述瓷片的厚度小于0.32mm;步骤三,将步骤二中单面覆铜半成品翻面后摆放至所述烧结治具内,在所述单面覆铜半成品的上方放置铜箔后,进行第二面覆铜烧结。使瓷片和铜箔在受热过程中变形更为均匀,并且在高温下不易产生扭曲从而造成的瓷裂,降低产品的翘曲度。
主权项:1.一种改善DCB低厚度产品烧结时翘曲的方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一,在垫板的表面四周粘接第一瓷条和第二瓷条,随后在垫板的中心点粘接支撑柱,组成烧结治具;步骤二,将待烧结的瓷片以及铜箔先后依次摆放在所述烧结治具内,摆放完成后进行第一面覆铜烧结,得到单面覆铜半成品;所述瓷片的厚度小于0.32mm;步骤三,将步骤二中单面覆铜半成品翻面后摆放至所述烧结治具内,在所述单面覆铜半成品的上方放置铜箔后,进行第二面覆铜烧结。
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