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摘要：本发明涉及晶圆加工技术领域，公开了一种撕膜装置，用于待撕膜部件，待撕膜部件包括依次重叠的设置的粘贴膜和保护膜，保护膜具有相对于粘贴膜突出的边缘部，撕膜装置包括供料组件、夹持撕膜组件以及吸附定位组件。本发明公开的撕膜装置通过供料组件、夹持撕膜组件以及吸附定位组件之间的配合，能够实现自动化的将保护膜从对应的待撕膜部件上撕下，从而为后续实现晶圆的自动化倒膜提供可能。并且，基于在撕膜过程中夹持撕膜组件的夹持件和吸附定位组件的第一吸附件将沿X轴方向朝相反的方向移动，因此能够有效的提升将保护膜从对应的待撕膜部件上撕下时的效率。
主权项：1.一种撕膜装置，用于待撕膜部件，所述待撕膜部件包括依次重叠的设置的粘贴膜和保护膜，所述保护膜具有相对于粘贴膜突出的边缘部，其特征在于，所述撕膜装置包括：供料组件，包括承载台；所述承载台具有承载面以及与承载面相对的限位面，所述承载面适于支撑保护膜；所述承载面包括在X轴方向上相对的第一侧和第二侧，所述边缘部从承载面的第一侧突出至承载面之外；夹持撕膜组件，包括适于夹持边缘部的夹持件；所述夹持件被配置为能够沿X轴方向以及Z轴方向往复移动；吸附定位组件，包括第一吸附件；所述第一吸附件被配置为能够沿X轴方向往复移动；所述第一吸附件至少具有沿Z轴方向朝下的第一状态，在第一状态下，所述第一吸附件能够位于承载面之上并与承载面相对，以利用第一吸附件吸附承载于承载面上的待撕膜部件的粘贴膜；其中，在撕膜阶段，所述夹持件以及所述第一吸附件沿X轴方向朝相反的方向运动，以通过夹持件使得边缘部弯折成与限位面对置的形式，并将保护膜从待撕膜部件上撕下。
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百度查询： 环诚智能装备(成都)有限公司 一种撕膜装置
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