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摘要：本发明为一种电极外置的双差分多质量块耦合环形MEMS陀螺仪。陀螺仪为平面Z轴陀螺，整体结构为旋转对称布置，包括中间的多环结构，设置在多环结构外侧的8或12个外侧质量块，设置在多环结构内侧的8或12个内侧质量块，中间的多环结构不与任何锚点直接连接，每一组相对的内、外质量块只能沿同一径向往复运动，不能产生周向位移；多环结构的振型是差分的2θ模态或者3θ模态，两侧质量块反向运动、且运动方向与多环结构差分的2θ模态或3θ模态振型波腹方向一致。本发明提高陀螺仪的动态稳定性和抗振性，抑制共模误差和偏移模态的干扰，提高陀螺仪的机械灵敏度，满足业界对MEMS器件在复杂环境中的鲁棒性需求。
主权项：1.一种电极外置的双差分多质量块耦合环形MEMS陀螺仪，其特征在于，陀螺仪为平面Z轴陀螺，整体结构为旋转对称布置，包括中间的多环结构1，设置在多环结构1外侧的8或12个外侧质量块6，设置在多环结构1内侧的8或12个内侧质量块7，中间的多环结构1不与任何锚点直接连接，每一组相对的内、外质量块只能沿同一径向往复运动，不能产生周向位移；多环结构1的振型是差分的2θ模态或者3θ模态，两侧质量块反向运动、且运动方向与多环结构1差分的2θ模态或3θ模态振型波腹方向一致；多环结构1由多个单环102通过径向的数根辐条101连接为一体；每一个外侧质量块6通过外侧第一组径向解耦梁12和外侧第二组径向解耦梁13与外侧锚点4连接，多环结构1通过外侧周向解耦梁2和每一个外侧质量块6连接；每一个内侧质量块7通过内侧第一组径向解耦梁10和内侧第二组径向解耦梁11与内侧锚点5连接，多环结构1通过内侧周向解耦梁3和每一个内侧质量块7连接；外侧周向解耦梁2和内侧周向解耦梁3分别用于在外侧质量块6与多环结构之间、内侧质量块7与多环结构之间传递径向力；相邻外侧质量块6之间设置用于陀螺仪正交输出抑制的正交平板电极15。
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权利要求：
百度查询： 南京理工大学 一种电极外置的双差分多质量块耦合环形MEMS陀螺仪
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