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摘要：用于可移动地支撑反射镜的组件包括：反射镜；以及一个或多个可变形构件。所述或每个可变形构件的第一端限定支撑部分，并且所述或每个可变形构件的第二端被直接或间接地附接到反射镜（例如在反射镜的后表面上）。所述或每个可变形构件包括第一致动器和第二致动器，第一致动器和第二致动器是能够独立定址的。第一致动器的致动使所述反射镜相对于所述支撑部分在第一方向上移动，并且第二致动器的致动使所述反射镜相对于所述支撑部分在与所述第一方向相反的第二方向上移动。在使用中，所述支撑部分可以附接或固定到支撑件，并且第一致动器和第二致动器可以用于相对于所述支撑件移动所述反射镜。
主权项：1.一种组件，包括：反射镜；以及一个或更多个可变形构件，可变形构件的第一端限定支撑部分，并且可变形构件的第二端直接地或间接地附接到所述反射镜；其中，所述一个或更多个可变形构件中的所述可变形构件或每个可变形构件包括第一致动器和第二致动器；其中，所述第一致动器和第二致动器是能够独立定址的；并且其中，所述第一致动器的致动使所述反射镜相对于所述支撑部分在第一方向上移动，并且其中，所述第二致动器的致动使所述反射镜相对于所述支撑部分在与所述第一方向相反的第二方向上移动。
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权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 用于微反射镜阵列的反射镜组件
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