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摘要：本发明涉及了一种电子级四甲基硅烷充装系统，包括原料罐、气体纯化结构、气液分离器、液体纯化器和钢瓶，本发明还涉及处理方法，本发明所述的一种电子级四甲基硅烷充装系统处理方法，通过原料罐液体气化经气体纯化结构完成4MS气体中氧、二氧化碳以及颗粒物等杂质的去除，进而通过气液分离器将气体转化为液体，通过液体纯化器去除金属离子，完成二次充装处理，即可得到纯度≥99.99％的超纯四甲基硅烷。该充装方法减少了充装动力带来的影响，又能提高四甲基硅烷充装过程中的纯度。本发明设计简单，在两级纯化器的协同作用下实现了充装后的四甲基硅烷纯度高和减少中间杂质影响的目的。
主权项：1.一种电子级四甲基硅烷充装系统，其特征在于，包括原料罐，所述原料罐与气液分离器通过管道连通，所述原料罐上端设置有原料罐出气阀和原料罐进气阀，所述原料罐与气液分离器之间设置有气体纯化结构，所述气液分离器上端设置有气液分离器进气阀，所述气液分离器下端设置有气液分离器出口阀，所述气液分离器出口阀连接液体纯化器，液体纯化器下端设置有液体纯化器出口阀，所述液体纯化器出口阀通过钢瓶进液端阀连通钢瓶，所述钢瓶上端设置有钢瓶气端阀，所述钢瓶气端阀连通钢瓶真空阀、钢瓶氮气阀、放空阀和分析阀。
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百度查询： 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 一种电子级四甲基硅烷充装系统及处理方法
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