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摘要：本发明公开了一种温度调节电路、阻抗匹配器和等离子体产生装置，涉及温度调节技术领域，其中，温度调节电路包括：多个温度检测电路，每个温度检测电路用于检测对应的阻抗匹配电路的工作温度，并输出相应的温度检测信号；开关电路，开关电路包括多个输入端和一个输出端，开关电路的多个输入端与多个阻抗匹配电路的输出端一一对应电连接，开关电路的输出端与等离子体腔室的电极电连接；主控电路，主控电路的信号接收端与温度检测电路的输出端电连接，主控电路的控制端与开关电路的受控端电连接；本发明旨在解决由于阻抗匹配器温度过高导致其阻抗匹配效果下降的技术问题。
主权项：1.一种温度调节电路，应用于等离子体产生设备，所述等离子体产生设备包括多个阻抗匹配电路和等离子体腔室，所述等离子体腔室具有用于与所述阻抗匹配电路的输出端电连接的电极，其特征在于，所述温度调节电路包括：多个温度检测电路，每个所述温度检测电路用于检测对应的所述阻抗匹配电路的工作温度，并输出相应的温度检测信号；开关电路，所述开关电路包括多个输入端和一个输出端，所述开关电路的多个输入端与多个所述阻抗匹配电路的输出端一一对应电连接，所述开关电路的输出端与所述等离子体腔室的电极电连接；主控电路，所述主控电路的信号接收端与所述温度检测电路的输出端电连接，所述主控电路的控制端与所述开关电路的受控端电连接；当至少一者所述阻抗匹配电路的工作温度过高时，所述主控电路根据所述温度检测信号，控制所述开关电路断开工作温度过高的所述阻抗匹配电路与所述等离子体腔室的电极之间的通路，并导通另一个温度正常的所述阻抗匹配电路与所述等离子体腔室的电极之间的通路。
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百度查询： 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司 温度调节电路、阻抗匹配器及等离子体产生设备
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