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载具和反应炉 

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摘要:本申请涉及半导体和光伏技术领域,尤其涉及一种载具和反应炉,解决了相关技术的反应炉中产品的加热效率低的问题。该载具包括主体和至少一个舟结构,主体包括第一导电部,第一导电部能够被通电并产生热量,舟结构能够承载产品,并能够放置于主体,舟结构包括第二导电部,在舟结构放置于主体的情况下,第二导电部能够被通电并产生热量。由于载具距离产品很近,因此,利用载具产生的热量对产品进行加热能够提高产品的加热效率。

主权项:1.一种载具,其特征在于,能够放置于反应炉,所述反应炉包括腔体和至少两个电极,所述腔体具有腔室,所述腔室被配置为容纳产品,至少两个所述电极伸入所述腔室;其中,所述载具包括:主体,包括呈线形延伸的至少一个第一导电部,所述第一导电部包括第一子导电部和第二子导电部,所述第一子导电部的第一端与所述第二子导电部的第一端电连接,其中,在所述载具位于所述腔室的情况下,所述第一子导电部的第二端用于与一个所述电极连接,所述第二子导电部的第二端用于与另一个所述电极连接;至少一个舟结构,能够放置于所述主体,被配置为承载所述产品,所述舟结构包括至少一个第二导电部,其中,在所述舟结构放置于所述主体的情况下,所述第二导电部的第一端与所述第一子导电部电连接,所述第二导电部的第二端与所述第二子导电部电连接;其中,在连接所述第一子导电部的所述电极和连接所述第二子导电部的所述电极均通电的情况下,所述第一导电部通电并产生热量,所述第二导电部通电并产生热量。

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