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荧光X射线分析装置 

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摘要:本发明提供一种荧光X射线分析装置10,包括:试样台2;X射线管7,构成为,朝向试样台2照射激发X射线;检测器8,对从试样台的试样发射的荧光X射线进行检测;以及控制装置14,对X射线管7及检测器8进行控制。在将从X射线管7发射的X射线管球靶的材料的荧光X射线被配置于试样台2的试样S瑞利散射后的X射线的强度设为IR,且将康普顿散射后的X射线的强度设为IC时,控制装置14在从X射线管7对标准试样照射激发X射线来制作校准曲线的情况下,在针对标准试样获得的IRIC的值为基准范围之外时,发出警告。

主权项:1.一种荧光X射线分析装置,对试样的构成元素进行分析,所述荧光X射线分析装置的特征在于,包括:试样台,配置有所述试样;X射线管,包含接收热电子并发射X射线的靶,且构成为朝向所述试样台照射包含所述靶的材料的荧光X射线的激发X射线;检测器,对从所述试样台的所述试样发射的荧光X射线进行检测;以及控制装置,对所述X射线管及所述检测器进行控制,其中,在将所述靶的材料的荧光X射线被配置于所述试样台的所述试样瑞利散射后的X射线的强度设为IR,且将所述靶的材料的荧光X射线被配置于所述试样台的所述试样康普顿散射后的X射线的强度设为IC时,所述控制装置构成为,在从所述X射线管对标准试样照射所述激发X射线来制作校准曲线的情况下,在针对所述标准试样获得的IRIC的值为第一基准范围之外时,发出警告。

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权利要求:

百度查询: 株式会社岛津制作所 荧光X射线分析装置

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