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质量分析装置 

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摘要:本发明涉及质量分析装置。配设在第1中间真空室内的离子导向器20包含6根杆电极211~216与电压生成部。为使6根杆电极211~216在离子的入射侧为六极的配置并且4根杆电极211、214、215、216成为四极的配置,使2根杆电极211、214以随着在离子的输送方向上行进而靠近中心轴201的方式相对于Z轴倾斜配设。电压生成部相对于6根杆电极211~216,对在中心轴201的周围相邻的杆电极彼此施加相位相互反转的高频电压±Vcosωt,并对4根杆电极211、214、215、216施加供离子良好地通过的直流电压U1,对其他2根杆电极212、213施加与U1不同的直流电压U2。

主权项:1.一种质量分析装置,具有输送作为分析对象的离子的离子输送光学系统,其特征在于,所述离子输送光学系统包含:N根杆电极,具有作为整体被配置为在离子的输送方向上延伸的6以上的偶数根;电压生成部,对所述N根杆电极分别施加规定的电压,将4根杆电极中的至少2根杆电极以随着在离子的输送方向上行进而靠近N极的配置或四极的配置的中心轴的方式相对于该中心轴倾斜配设,从而使所述N根杆电极在离子的入射侧为所述N极的配置、且在离子的射出侧该N根杆电极中的该4根杆电极成为所述四极的配置,所述电压生成部相对于所述N根杆电极,能够对在离子光轴的周围相邻的杆电极彼此施加相位相互反转的高频电压,并对在离子的射出侧成为四极配置的所述4根杆电极施加第1直流电压,对所述N根杆电极中的所述4根杆电极以外的N-4根杆电极施加与所述第1直流电压不同的第2直流电压,所述电压生成部将比所述第1直流电压大的电压值即所述第2直流电压施加至所述N-4根杆电极,所述电压生成部被设置为在离子的入射侧形成N极高频电场,在离子的射出侧形成四极高频电场。

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百度查询: 株式会社岛津制作所 质量分析装置

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