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摘要：根据一个方面，提供了用于倾斜c轴薄膜沉积的准直器，其包括准直器主体。准直器主体包括用于限制颗粒的沉积方向的孔阵列。准直器主体是单个整体元件。
主权项：1.用于倾斜c轴薄膜沉积的准直器，其特征在于，所述准直器包括：准直器主体，其包括用于限制颗粒的沉积方向的孔阵列，其中，所述准直器主体是单个整体元件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 倍优敏有限公司 用于生产具有倾斜的c轴取向的压电层的准直器
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