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摘要：本发明涉及一种用于在真空中保持、定位和或移动物体的设备，所述设备包括：底座、具有基板保持器的末端执行器、可选地作用于底座上的竖直或升降驱动器和用于所述滑架的磁性支承件。根据本发明，所述线性驱动器构造成能用流体加载的、否则闭合的、带有双作用的活塞的缸，所述活塞设有磁组件。所述滑架具有至少局部地在外部包围所述缸的磁环，所述磁环非接触式地包围所述缸。
主权项：1.用于在真空中保持、定位和或移动物体的设备，所述设备包括：底座4，所述底座具有末端执行器10，所述末端执行器带有基板保持器1；通过滑架11与末端执行器10耦合的线性驱动器；以及用于所述滑架11的磁性支承件，其特征在于，所述线性驱动器构造成能用流体加载的、否则闭合的、带有双作用的活塞3的缸2，所述活塞3设有磁组件30，所述滑架11还具有至少局部地在外部包围所述缸2的磁环14，所述磁环非接触式地包围所述缸2，并且所述滑架11能相对于所述底座4非接触式地平移运动，并且防旋转式倾斜地固定且磁性40；41地被引导。
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百度查询： 威克姆真空部件和技术有限公司 用于在真空中保持、定位和/或移动物体的设备
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