龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：提供能通过除害装置适当地减少排气气体中的负荷气体的晶片处理装置。晶片处理装置具备：晶片处理组件，其对容器供给处理用气体，进行配置于容器内的处理对象即晶片的处理，与进行减少从容器排出的排气气体中的负荷气体的除害处理的除害装置连结；和控制装置，其控制晶片处理组件以及除害装置。除害装置具备对应于接收到的指令信号或表示不同的负荷气体的量的信号使通过除害处理减少负荷气体的量增大或减少来进行运转的功能。控制装置基于预先取得的晶片处理组件中的晶片的处理条件，来事前发送用于将除害装置的运转状态变更为能进行排气气体的除害处理的面向除害装置的除害运转信息。
主权项：1.一种晶片处理装置，其特征在于，具备：晶片处理组件，其对容器供给处理用气体，进行配置于所述容器内的处理对象即晶片的处理，与进行减少从所述容器排出的排气气体中的负荷气体的除害处理的除害装置连结；和控制装置，其控制所述晶片处理组件以及所述除害装置，所述除害装置具备：对应于接收到的指令信号或表示不同的所述负荷气体的量的信号使所述除害处理减少所述负荷气体的量增大或减少来进行运转的功能，所述控制装置执行如下处理：基于预先取得的所述晶片处理组件中的所述晶片的处理条件，来事前发送用于将所述除害装置的运转状态变更为能进行所述排气气体的除害处理的面向所述除害装置的除害运转信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社日立高新技术 晶片处理装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号