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摘要：本发明公开了一种铒玻璃和钴尖晶石的间接键合方法，应用于激光晶体和固体激光器领域。包括以下步骤，S1选取合适的铒玻璃和钴尖晶石作为键合晶体；S2对铒玻璃和钴尖晶石的预键合面分别进行表面处理；S3对S2表面处理后的钴尖晶石的预键合面镀SiO2膜，并清洗表面；S4对S2中经表面处理后的铒玻璃和S3中镀膜处理后的钴尖晶石，一起放入真空腔内镀通过离子束溅射技术镀同样厚度的Al2O3薄膜，使两种材料键合面表面活化；S5对S4中表面活化后的晶体在真空室内将镀膜后的两款材料镀膜面进行光胶；S6对光胶后的钴尖晶石和铒玻璃在真空室内进行升温加压键合，得到键合晶体，并对得到的键合晶体进行强度拉力测试、切割测试、界面处损伤阈值测试。该键合方法能够有效解决铒玻璃和钴尖晶石两者之间采用高温键合时，因异质键合所存在键合牢固度不高，界面处损伤阈值下降和透光度下降等问题，能够保证激光高效而稳定的输出。
主权项：1.一种铒玻璃和钴尖晶石的间接键合方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤:S1选取合适的铒玻璃和钴尖晶石作为键合晶体；S2对铒玻璃和钴尖晶石的预键合面分别进行表面处理；S3对S2表面处理后的钴尖晶石的预键合面镀SiO2膜，并清洗表面；S4对S2中经表面处理后的铒玻璃和S3中镀膜处理后的钴尖晶石，一起放入真空腔内镀通过离子束溅射技术镀Al2O3薄膜，使两种材料键合面表面活化；S5对S4中表面活化后的晶体在真空室内将镀膜后的两款材料镀膜面进行光胶；S6对S5中光胶后的钴尖晶石和铒玻璃在真空室内进行升温加压键合，得到键合晶体。
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百度查询： 上海芯飞睿科技有限公司 一种铒玻璃和钴尖晶石的间接键合方法
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