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摘要：一种蚀刻气体组合物，所述蚀刻气体组合物包含有机氟化合物和二硫化碳。
主权项：1.一种蚀刻气体组合物，所述蚀刻气体组合物包含：有机氟化合物；和二硫化碳。
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百度查询： 细美事有限公司 蚀刻气体组合物以及通过使用该蚀刻气体组合物制造集成电路装置的方法
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