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申请/专利权人：江苏汇成光电有限公司
摘要：本实用新型涉及探针卡应用技术领域，且公开了一种探针卡测试用干燥吹气装置，包括探针卡，以及配合探针卡进行晶圆测试并设置于探针卡正上方的测试机，其特征在于：所述测试机上设有喷吹机构，所述喷吹机构包括进气单元，连接于进气单元输出端上的气管一，设置于气管一上远离进气单元一端的固定结构，通过所述固定结构与测试机形成连接并朝探针卡所在侧喷吹。本实用新型通过在测试机上设置喷吹机构，在晶圆测试的同时对探针卡进行干燥，使探针卡周围环境始终保持干燥，以降低湿度，避免频繁地将探针卡取出、烘烤、再安装，从而提升机台稼动率和测试效率，同时避免人员频繁的将探针卡从机台上取出和安装而造成MO事件，进而减轻技术人员的负担。
主权项：1.一种探针卡测试用干燥吹气装置，包括探针卡1，以及配合探针卡1进行晶圆测试并设置于探针卡1正上方的测试机2，其特征在于：所述测试机2上设有喷吹机构3，所述喷吹机构3包括进气单元31，连接于进气单元31输出端上的气管一32，设置于气管一32上远离进气单元31一端的固定结构33，通过所述固定结构33与测试机2形成连接并朝探针卡1所在侧喷吹。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏汇成光电有限公司 一种探针卡测试用干燥吹气装置
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