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申请/专利权人：浙江大学
摘要：本发明公开了一种混合波导集成二维材料中红外光电探测器。包括蓝宝石衬底；硅波导传输层形成在蓝宝石衬底之上；二维材料层位于硅波导传输层的中部上；硫系条形波导形成在二维材料层的中间上；两个电极形成在二维材料层的两侧上；硫系盖层形成在硅波导传输层上，且包覆二维材料层、硫系条形波导和电极。本发明是中红外低损的蓝宝石‑硅‑硫系材料混合波导结构，二维材料通过范德华力易于集成且室温下工作优势，通过极大的增强光与物质相互作用。
主权项：1.一种混合波导集成二维材料中红外光电探测器，其特征在于：包括蓝宝石衬底1；包括硅波导传输层2，形成在蓝宝石衬底1之上；包括二维材料层3，位于硅波导传输层2的中部上；包括硫系条形波导5，形成在二维材料层3的中间上，是使用热蒸发生长在二维材料层3上；包括两个电极4，分别形成在二维材料层3的两侧上；包括硫系盖层6，形成在硅波导传输层2上，是使用热蒸发生长在硅波导传输层2上，且包覆二维材料层3、硫系条形波导5和电极4；所述混合波导为基于蓝宝石-硅-硫系玻璃-二维材料体系的混合波导。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学 一种混合波导集成二维材料中红外光电探测器
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