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申请/专利权人：北京中科科仪股份有限公司
摘要：本发明涉及参数测量领域，公开了一种分子泵微振动测量方法、系统、装置、设备及介质，该方法包括：获取相干双光束在分子泵表面发生干涉后产生散射光信号；将散射光信号进行信号转换，得到多普勒时域波形；将多普勒时域波形进行快速傅里叶变换以及短时傅里叶变换得到分子泵的微振动测量参数，本发明采集双光束在分子泵表面发生干涉后产生的散射光信号，对散射光信号进行信号转换，对信号转换后得到的多普勒时域波形进行数据处理，以计算分子泵的微振动测量参数，从而实现分子泵微振动的测量，无需采用接触式测量器件对微振动物理量进行测量，对分子泵本身微振动不产生影响，不受电磁干扰，提高分子泵微振动测量结果的准确性。
主权项：1.一种分子泵微振动测量方法，其特征在于，所述方法包括：获取相干双光束在分子泵表面发生干涉后产生的散射光信号；将所述散射光信号进行信号转换，得到多普勒时域波形；基于所述多普勒时域波形利用快速傅里叶变换以及短时傅里叶变换计算分子泵的微振动测量参数；其中，所述微振动测量参数包括振动频率，基于所述多普勒时域波形利用快速傅里叶变换计算分子泵的微振动测量参数，包括：将所述多普勒时域波形进行快速傅里叶变换，得到分子泵的多普勒微振动频谱；利用线性调频Z变换对所述多普勒微振动频谱进行频谱细化，利用汉宁窗函数对所述多普勒微振动频谱进行校正处理，从细化与校正处理后的多普勒微振动频谱中提取分子泵振动频率。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京中科科仪股份有限公司 一种分子泵微振动测量方法、系统、装置、设备及介质
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