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摘要：一种带电粒子系统400，可以包括设置在第一轴470上的第一带电粒子束源，以及设置在第二轴上的第二带电粒子束源420。还可以提供一种布置在第一轴上的偏转器430。偏转器可以被配置为将从第二带电粒子束源生成的射束朝向样品403偏转。一种操作带电粒子束系统的方法，包括：在操作偏转器430的第一状态和第二状态之间切换。在第一状态下，可以熄灭从第一带电粒子束源生成的第一带电粒子束，并且朝向样品引导从第二带电粒子束源生成的第二带电粒子束。在第二状态下，可以熄灭第二带电粒子束，并且朝向样品引导第一带电粒子束。
主权项：1.一种带电粒子束系统，包括：第一带电粒子束源，设置在第一轴上；第二带电粒子束源；以及部件，布置在所述第一轴上，所述部件被配置为将从所述第二带电粒子束源生成的射束朝向样品偏转；其中所述带电粒子束系统被配置为在第一状态与第二状态之间切换，其中:在所述第二状态下，从所述第一带电粒子束源生成的第一带电粒子束被引导向所述样品，在所述第一状态下，从所述第二带电粒子束源生成的第二带电粒子束被引导向所述样品；以及在所述第一状态和所述第二状态两者下，所述第一带电粒子束源的汇聚透镜和所述带电粒子束系统的物镜的操作条件被维持。
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百度查询： ASML荷兰有限公司 带电粒子束系统及其操作方法
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