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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本披露内容的方面提供了一种用于远距温度测量的传感器。例如，传感器可以包括：光源，该光源被配置为形成照射束；聚焦光学器件，该聚焦光学器件被配置为将来自光源的照射束引导到半导体样品上的照射光点处，用于在半导体样品中激发出带隙光致发光PL光；集光光学器件，该集光光学器件被配置为收集从半导体样品激发出的带隙PL光；至少一个光检测器，该至少一个光检测器被配置为测量带隙PL光邻近半导体样品的半导体带隙波长的光谱强度；以及透射光学器件，该透射光学器件被配置为将来自集光光学器件的带隙PL光透射到该至少一个光学检测器。
主权项：1.一种用于远距温度测量的传感器，包括：光源，该光源被配置为形成照射束；聚焦光学器件，该聚焦光学器件被配置为将来自该光源的照射束引导到半导体样品上的照射光点处，使得该照射束在该半导体样品中激发出带隙光致发光PL光；集光光学器件，该集光光学器件被配置为收集从该半导体样品激发出的带隙PL光；至少一个光检测器，该至少一个光检测器被配置为测量该带隙PL光邻近该半导体样品的半导体带隙波长的光谱强度；以及透射光学器件，该透射光学器件被配置为将来自该集光光学器件的带隙PL光透射到该至少一个光检测器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 用于远距温度测量的光学传感器
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