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申请/专利权人：广东思科通用电力科技有限公司

摘要：本申请提供了一种基于母线槽提高芯片制程中无尘室安全性的方法和装置，在本申请中使用的母线槽中设置有冷却装置，冷却装置中的冷却管路中填充有冷却剂，冷却管路使用导热金属材料制成，且冷却管路和母线之间设置有导热硅胶绝缘片，在绝限的同时还具有良好的热交换效果，从而有利于母线降低温度，同时，第一母线槽和第二母线槽使用凹凸结构和定位结构连接，便于母线槽的安装，以及通过对第一电流噪声信号进行处理得到第二电流噪声信号后与标准电弧信号进行比对，从而可以判断出母线槽当前是否存在电弧现象，并在有电弧现象时发出提示信息，以便安检人员对母线槽进行检查，通过上述结构和方法，有利于提高无尘室的安全性。

主权项：1.一种基于母线槽提高芯片制程中无尘室安全性的方法，其特征在于，所述方法针对设置在芯片制程无尘室中的母线槽系统，所述母线槽系统包括：第一母线槽和第二母线槽，所述第一母线槽和所述第二母线槽均包括：第一保护壳，冷却装置和设置在第一保护壳内的N条母线，N为正整数，所述冷却装置包括：N+1条冷却管路、循环电机和散热器，所述母线和所述冷却管路交替排布，所述循环电机的入口与所述散热器的出口通过管路连通，所述散热器的入口通过管路与每条冷却管路的一端连通，所述循环电机的出口与每条冷却管路的另一端连通，每条冷却管路中均填充满冷却剂，冷却剂在所述循环电机的作用下进行循环流动，所述散热器对冷却剂进行散热，所述冷却管路由导热金属材料制成，所述母线和所述冷却管路的宽度相等，所述母线和所述冷却管路之间设置有导热硅胶绝缘片，所述母线和所述冷却管路通过所述导热硅胶绝缘片相接触，所述第一母线槽和所述第二母线槽均包括第一连接端和第二连接端，N条母线的一端与所述第一连接端连接，N条母线的另一端与所述第二连接端连接，所述第一母线槽和所述第二母线槽交替连接排布，所述第一母线槽的第一连接端与所述第二母线槽的第二连接端连接，所述第一母线槽的第一连接端包括至少一个凹陷部，所述第二母线槽的第二连接端包括至少一个凸出部，所述凸出部的数量与所述凹陷部的数量相等，所述第一母线槽的第一连接端与所述第二母线槽的第二连接端通过将所述凸出部插入到所述凹陷部后接触连接，所述凸出部包括至少一个半圆形弹性定位销，所述凹陷部包括至少一个半圆形定位孔，所述定位销的数量和所述定位孔的数量相等，所述定位销和所述定位孔用于对所述第一母线槽的第一连接端与所述第二母线槽的第二连接端进行定位连接，所述方法包括：根据所述母线槽系统的标准电流噪声信号对获取到的所述母线槽系统当前的第一电流噪声信号进行去噪处理，得到第二电流噪声信号；分别对所述第二电流噪声信号和标准电弧信号进行特征提取，获得所述第二电流噪声信号对应的第一特征帧序列，以及所述标准电弧信号对应的第二特征帧序列；将所述第一特征帧序列和所述第二特征帧序列对齐，生成对齐序列帧；判断所述对齐序列帧中目标特征是否为连续重复出现，且重复出现时的时间间隔相等；如果是，则发出所述母线槽系统中发生电弧现象的提示信息。

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