买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：天津伍嘉联创科技发展股份有限公司

摘要：本发明涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种连线翻盘装置，包括机架、供料盘进盘模组、供料盘翻转模组、供料盘取送模组、供料盘传送模组、供料盘提篮模组、产品移载模组、归正模组、收料盘缓存模组、收料盘供盘模组、上盖移载模组、收料盘收料模组、收料盘换轨模组、振动模组、光学检测模组、收料盘中转模组、收料盘提篮模组以及电清洗模组。本发明各模组间精确配合、协同工作可实现自动换料、不良品检测、电清洗等功能，避免出现整盘产品脱盘的情况，工序更加完整。

主权项：1.一种连线翻盘装置，其特征在于，包括机架、供料盘进盘模组、供料盘翻转模组、供料盘取送模组、供料盘传送模组、供料盘提篮模组、产品移载模组、归正模组、收料盘缓存模组、收料盘供盘模组、上盖移载模组、收料盘收料模组、收料盘换轨模组、振动模组、光学检测模组、收料盘中转模组、收料盘提篮模组以及电清洗模组；所述供料盘进盘模组、所述供料盘取送模组、所述供料盘传送模组以及所述供料盘提篮模组沿y反方向依次设置于所述机架，所述供料盘翻转模组设置于所述机架且对应于所述供料盘取送模组，供料盘沿所述供料盘进盘模组、所述供料盘取送模组、所述供料盘传送模组依次移动，供料盘上放置有晶振；所述收料盘缓存模组、所述收料盘供盘模组以及所述收料盘收料模组沿y正方向依次设置于所述机架，所述产品移载模组沿x方向设置于所述机架且对应于所述供料盘取送模组、所述供料盘翻转模组以及所述收料盘收料模组，所述归正模组设置于所述产品移载模组的侧部且位于所述供料盘取送模组以及所述收料盘收料模组之间；所述振动模组、所述光学检测模组、所述收料盘中转模组以及所述电清洗模组沿y反方向依次设置于所述机架，所述光学检测模组位于所述收料盘收料模组远离所述供料盘取送模组的侧部，所述收料盘提篮模组设置于所述收料盘中转模组的侧部，所述振动模组对应于所述收料盘收料模组；所述收料盘换轨模组设置于所述收料盘收料模组远离所述收料盘供盘模组的侧部，所述收料盘换轨模组对应于所述振动模组以及所述收料盘收料模组；所述上盖移载模组沿x方向设置于所述机架且对应于所述收料盘供盘模组和所述收料盘中转模组，所述收料盘供盘模组和所述收料盘中转模组之间设置有上盖放置板，收料盘上具有上盖，所述上盖移载模组用以将位于所述收料盘供盘模组的收料盘的上盖转移至所述上盖放置板，所述上盖移载模组用以将位于上盖放置板的上盖转移至所述收料盘中转模组的收料盘。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天津伍嘉联创科技发展股份有限公司 一种连线翻盘装置