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申请/专利权人：湖北师范大学

摘要：本发明公开了一种Terfenol‑D粉末与FPI构成的光纤磁场传感器制作方法，该方法包括以下步骤：第一步，制作法布里‑珀罗干涉仪1即FPI1；第二步，将Terfenol‑D粉末均匀涂敷在FPI1的大毛细管表面构成对磁场敏感的FPI1；第三步，制作法布里‑珀罗干涉仪2即FPI2；第四步，将FPI1和FPI2的单模光纤端用熔接机熔接在一起，两个FPI相距5毫米～1厘米，两个FPI级联后制作成一次谐波游标效应传感器；本发明的方法吸取了现有的传感器的优点，克服它们的缺点，利用石英毛细管、单模光纤、Terfenol‑D粉末、环氧树脂胶、紫外线胶、FPI和一次谐波游标效应，能够很好的制作出结构紧凑、制作容易、包装容易、灵敏度高的光纤磁场传感器，该传感器能够适用于狭小空间磁场测量，具有很好的实际应用价值。

主权项：1.一种Terfenol-D粉末与FPI构成的光纤磁场传感器制作方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：第一步，制作法布里-珀罗干涉仪1即FPI1：取一段大石英毛细管，用火把它表面的保护层烧掉，它的内径为150微米，外径为360微米；然后，将两段剥去涂覆层、端面切割平整的单模光纤从大毛细管的两端插入其中，调整两个单模光纤之间的距离，当光谱满足要求时，在大毛细管两端利用紫外线胶将单模光纤与大毛细管粘在一起，用紫外线灯照射1分钟，将大毛细管与单模光纤粘贴在一起，构成一个FPI1，FPI1由M1和M2两个反射面的反射光干涉形成，FPI1的F-P腔是一个空气腔，F-P腔长度为L1，在FPI1结构中，两边毛细管粘贴点之间的长度为L，从毛细管两边插入的单模光纤在毛细管中形成悬臂梁结构；第二步，将Terfenol-D粉末均匀涂敷在FPI1的大毛细管表面构成对磁场敏感的FPI1，具体为：先将Terfenol-D粉末和环氧树脂胶按照粉胶质量比95：5进行配置，即取95%Terfenol-D粉末和5%的环氧树脂胶混合搅拌，配置成均匀的混合胶体备用；然后将配置好的Terfenol-D混合胶均匀涂覆在FPI1中大毛细管的外表面，将整个大毛细管外表面涂满；制作好的结构先放在室温下晾两小时，然后放到干燥箱中40℃环境下干燥8小时，最后再在室温下放置半个月，让涂覆的材料完全干燥；第三步，制作法布里-珀罗干涉仪2即FPI2：取一段小石英毛细管，用火将它表面的保护层烧掉，它的内径为75微米，外径为125微米，然后，利用光纤熔接机将一段剥去涂覆层和端面切割平整的单模光纤和小石英毛细管熔接在一起，利用光纤切割刀将毛细管切割到设计的长度L2，再将另外一段剥去涂覆层端面平整的单模光纤熔接在小毛细管的另外一端，最后利用光纤切割刀将单模光纤的末端切割成斜面，这样就完成了FPI2的制作，FPI2由M3和M4两个反射面的反射光干涉形成，FPI2的F-P腔也是一个空气腔，F-P腔长度为L2；第四步，将FPI1和FPI2的单模光纤端用熔接机熔接在一起，两个FPI相距5毫米～1厘米，两个FPI级联后制作成一次谐波游标效应传感器。

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