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申请/专利权人：苏州天准科技股份有限公司
摘要：本实用新型提供了一种多自由度调平的物料输送装置及非接触式曝光设备，属于光伏行业中电池镀铜的图形化领域，一种多自由度调平的物料输送装置，物料输送装置包括自下而上布置的X向驱动模组、顶升模组、平面内调整模组、调平模组和物料载台；物料载台用于承载和定位待曝光的产品，顶升模组、平面内调整模组、调平模组用于升降驱动、平面内调节和平面姿态调节，X向驱动模组用于装置在X向的整体驱动，实现物料沿X向的进给和复位。本申请的物料输送装置能够对多规格的物料实现精确调平和运输，保证了曝光设备的高效运行，便于在硅片镀铜图形化领域中的推广应用。
主权项：1.一种多自由度调平的物料输送装置，其特征在于：物料输送装置包括X向驱动模组210、顶升模组220、平面内调整模组230、调平模组240和物料载台250；所述平面内调整模组230的底部两侧边滑动的跨设在X向驱动模组210上，所述顶升模组220设置在平面内调整模组230的底部，所述调平模组240和物料载台250依次设置在平面内调整模组230的上方；物料载台250用于承载和定位待曝光的产品，顶升模组220、平面内调整模组230、调平模组240用于升降驱动、平面内调节和平面姿态调节，X向驱动模组210用于装置在X向的整体驱动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州天准科技股份有限公司 多自由度调平的物料输送装置及非接触式曝光设备
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