龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：深圳市辰中科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种光刻胶供应系统，至少包括：储罐，包括罐口以及与所述罐口相对设置的罐底；气体供应管路，所述气体供应管路的一端延伸至所述罐口内；第一排气管路，所述第一排气管路的一端由所述罐口延伸至所述罐底；第一接收罐，设置在所述第一排气管路远离所述罐底的一侧；除泡单元，与所述储罐连接；检测单元，设置在所述除泡单元远离所述储罐的一侧；开关阀，设置在所述检测单元远离所述除泡单元的一侧；以及供胶管路，连接所述储罐、所述除泡单元、所述检测单元和所述开关阀。通过本实用新型提供的供应系统，能够监控并自动排除光刻胶供应系统中的气泡，提高光刻胶供应的效率，实现光刻胶供应的智能化。
主权项：1.一种光刻胶供应系统，其特征在于，至少包括：储罐，包括罐口以及与所述罐口相对设置的罐底；气体供应管路，所述气体供应管路的一端延伸至所述罐口内；第一排气管路，所述第一排气管路的一端由所述罐口延伸至所述罐底；第一接收罐，设置在所述第一排气管路远离所述罐底的一侧；除泡单元，与所述储罐连接；检测单元，设置在所述除泡单元远离所述储罐的一侧；开关阀，设置在所述检测单元远离所述除泡单元的一侧；以及供胶管路，连接所述储罐、所述除泡单元、所述检测单元和所述开关阀。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市辰中科技有限公司 一种光刻胶供应系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号