龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：沈阳元创半导体有限公司
摘要：本发明属于半导体晶圆传送技术领域，特别涉及一种晶圆装载机。包括壳体、承载台、密封舱、升盒机构、压盒机构及开锁机构，其中承载台设置于壳体的顶部，承载台用于承载晶圆盒；开锁机构设置于承载台上，开锁机构用于晶圆盒外罩与晶圆盒底座的解锁；密封舱设置于承载台的外侧，且与壳体沿竖直方向滑动连接；压盒机构设置于密封舱的顶部，压盒机构用于将晶圆盒外罩压紧在密封舱上；升盒机构设置于壳体内，且与密封舱连接，升盒机构用于驱动密封舱和晶圆盒外罩升降，能够使放置在晶圆盒底座上的晶圆置于密封舱内。本发明具备结构简单、占用空间小、控制简单且可靠、洁净度高的特点。
主权项：1.一种晶圆装载机，其特征在于，包括壳体、承载台（3）、密封舱（4）、升盒机构（5）、压盒机构（6）及开锁机构（7），其中承载台（3）设置于壳体的顶部，承载台（3）用于承载晶圆盒；开锁机构（7）设置于承载台（3）上，开锁机构（7）用于晶圆盒外罩（9）与晶圆盒底座（10）的解锁；密封舱（4）设置于承载台（3）的外侧，且与壳体沿竖直方向滑动连接；压盒机构（6）设置于密封舱（4）的顶部，压盒机构（6）用于将晶圆盒外罩（9）压紧在密封舱（4）上；升盒机构（5）设置于壳体内，且与密封舱（4）连接，升盒机构（5）用于驱动密封舱（4）和晶圆盒外罩（9）升降，能够使放置在晶圆盒底座（10）上的晶圆置于密封舱（4）内；所述压盒机构（6）包括旋转轴（602）和压盒锁片（604），所述压盒锁片（604）的一端通过弹性元件与所述旋转轴（602）柔性阻尼连接；当所述压盒锁片（604）与限位结构接触后，所述旋转轴（602）克服弹性元件的柔性阻尼后，能够相对所述压盒锁片（604）转动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 沈阳元创半导体有限公司 一种晶圆装载机
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号