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摘要：本申请公开了一种物镜检测方法和相关装置，在物镜检测系统中，在检测器和目标物镜之间的光路上设置了光学平板。向设置在物面台上的靶标入射照明光，该照明光在靶标上回产生散射光场，半球形的散射光场可以适配不同数值孔径物镜的检测，所以不需要该照明光适配目标物镜的数值孔径。光学平板将通过目标物镜的部分散射光进行反射，形成反射光，该反射光会与散射光场产生干涉，在物面台上形成干涉条纹。在此期间，通过沿目标物镜的光轴方向调整物面台以改变物距，使得检测器基于该干涉条纹得到对应不同物距下的干涉图样。干涉图样中部分图样为聚焦状态时的目标物距的数值范围，能准确的体现出目标物镜的真实像面的曲度，具有较高的检测精度。
主权项：1.一种物镜检测方法，其特征在于，所述方法应用于物镜检测系统，所述物镜检测系统包括待检测的目标物镜、物面台和检测器，在所述检测器和所述目标物镜之间的光路上设置了光学平板，所述方法包括：向设置在所述物面台上的靶标入射照明光，所述照明光用于在所述靶标上产生散射光场，所述散射光场通过所述目标物镜后，在所述光学平板产生朝向所述物面台的反射光，所述反射光与所述散射光场产生干涉并在所述物面台上形成干涉条纹；通过沿所述目标物镜的光轴方向移动所述物面台，调整所述靶标相对于所述目标物镜的物距；基于所述检测器，通过所述目标物镜获取不同物距下所述干涉条纹对应的干涉图样；根据不同物距下所述干涉图样的清晰度，确定所述目标物镜对所述干涉图样中部分图样为聚焦状态时的目标物距；根据所述目标物距的数值范围确定所述目标物镜的全视场场曲像差。
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百度查询： 深圳中科飞测科技股份有限公司 一种物镜检测方法和相关装置
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