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申请/专利权人：辽宁意达石油工程有限公司
摘要：本发明涉及一种高灵敏度柔性压力传感器及其制备方法，其中所述压力传感器包括：基底；空腔，其位于所述基底的中部；压力敏感单元，其位于所述空腔之上；检测电极，其设置在所述基底的上表面，且所述检测电极部分被压力敏感单元覆盖。所述压力敏感单元为石墨烯聚酰亚胺复合膜。该传感器采用CVD生长的石墨烯薄膜作为压力敏感层，具有极高的灵敏度，可以精准检测天然气开采井的井口处或者天然气输送管道内的压力变化。
主权项：1.一种高灵敏度柔性压力传感器，其特征在于，包括：基底,其包括：第一聚酰亚胺薄膜；以及第二聚酰亚胺薄膜，其位于所述第一聚酰亚胺薄膜之上；空腔，其位于所述基底的中部，所述空腔位于所述第二聚酰亚胺薄膜中；释放孔，其位于所述第二聚酰亚胺薄膜中、所述空腔的上方，且所述空腔上方保留的第二聚酰亚胺薄膜的厚度等于释放孔的深度；压力敏感单元，其位于所述空腔之上,所述压力敏感单元为石墨烯聚酰亚胺复合膜；检测电极，其设置在所述基底的上表面，且所述检测电极部分被所述压力敏感单元覆盖。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 辽宁意达石油工程有限公司 一种高灵敏度柔性压力传感器及其制备方法
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