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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明涉及的基板处理装置具备：贮存处理液、浸渍基板的处理槽；向所述处理槽供给所述处理液的处理液供给机构；成为所述处理液从所述处理槽向装置外被排液时的流路的排液配管；具备对所述处理液进行过滤的过滤器，且至少一端与所述处理槽连通的循环配管；将所述循环配管与所述排液配管连通，并且成为经所述过滤器过滤的所述处理液在不返回至所述处理槽的情况下被排液时的流路的旁通配管；对从所述处理槽排出的所述处理液的流路进行切换的开闭阀；和对所述开闭阀进行控制的控制机构。
主权项：1.基板处理装置，其为用处理液对基板进行处理的基板处理装置，其特征在于，所述基板处理装置具有：处理槽，其贮存所述处理液、浸渍基板；处理液供给机构，其向所述处理槽供给所述处理液；排液配管，其成为所述处理液从所述处理槽向装置外被排液时的流路；循环配管，其具备对所述处理液进行过滤的过滤器，且所述循环配管的一端连接于所述处理槽、另一端连接于所述排液配管；旁通配管，其将所述循环配管与所述排液配管连通，并且成为经所述过滤器过滤的所述处理液在不返回至所述处理槽的情况下被排液时的流路；一个以上的阀，其是对从所述处理槽排出的所述处理液的流路进行切换的开闭阀，所述一个以上的阀包括一通排液阀，所述一通排液阀对从所述处理槽排出的所述处理液仅通过所述排液配管而被排液的流路、与从所述处理槽排出的所述处理液自所述排液配管向所述循环配管流动的流路进行切换；和控制机构，其对所述开闭阀进行控制，在从所述处理槽排出的所述处理液自所述排液配管向所述循环配管流动的情况下，所述循环配管与所述处理槽之间形成所述处理液能够循环的流路。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置、基板处理装置的清洗方法
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