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申请/专利权人：武汉新芯集成电路股份有限公司
摘要：本发明提供了一种半导体制程设备及半导体制程设备的保养方法，半导体制程设备包括：晶舟，包括第一连接件、第二连接件、支撑架和多个支撑部，所述支撑架设置于所述第一连接件与所述第二连接件之间，所述多个支撑部间隔地设置于所述支撑架上，所述支撑部用于承载晶圆，所述第一连接件中设置有第一通孔；第一激光检测装置，用于向所述第一通孔发射激光并根据接收到的激光情况判断所述晶舟是否安装水平。本发明的技术方案使得能够实现快速对半导体制程设备进行保养，避免晶舟在使用中出现安装偏差。
主权项：1.一种半导体制程设备，其特征在于，包括：晶舟，包括第一连接件、第二连接件、支撑架和多个支撑部，所述支撑架设置于所述第一连接件与所述第二连接件之间，所述多个支撑部间隔地设置于所述支撑架上，所述支撑部用于承载晶圆，所述第一连接件中设置有第一通孔，所述第二连接件中设置有位置与所述第一通孔对应的第二通孔；隔热部件，设置于所述晶舟底面，所述隔热部件中设置有第四通孔，所述第四通孔与所述第一通孔的位置对应；支撑基座，设置于所述隔热部件底面；支撑台，水平的设置于所述晶舟上方；第一激光检测装置，用于向所述第一通孔、所述第二通孔和所述第四通孔发射激光并根据接收到的激光情况判断所述晶舟和所述隔热部件在水平面上是否安装水平；所述第一激光检测装置包括第一激光发射器和第一激光接收器，所述第一激光发射器和所述第一激光接收器分别设置于所述支撑基座上和所述支撑台的底面，所述第一激光发射器用于发射激光，所述第一激光接收器用于接收激光；或者，所述第一激光检测装置包括第一激光发射和接收器，所述第一激光发射和接收器设置于所述支撑基座上或所述支撑台的底面，所述第一激光发射和接收器用于发射激光和接收激光。
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百度查询： 武汉新芯集成电路股份有限公司 半导体制程设备及半导体制程设备的保养方法
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