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申请/专利权人：FEI公司
摘要：用于基于RF脉冲电子束的STEM的系统和方法。本文公开了用于对电子束施加脉冲并使脉冲电子束与在多个扫描位置处扫描样品同步的系统和方法。一种示例方法至少包含：对电子束施加脉冲以形成具有脉冲周期的脉冲电子束；移动所述脉冲电子束以在多个位置处与样品相互作用，所述多个位置中的每个位置处的所述相互作用发生持续停留时间；以及基于所述电子束的所述脉冲施加和平移使所述脉冲电子束与所述样品的所述相互作用的数据采集同步，其中所述停留时间基于所述脉冲周期的导数。
主权项：1.一种用于基于RF脉冲电子束的扫描透射电子显微镜的方法，其包括：用RF波对电子束施加脉冲以形成具有脉冲周期的脉冲电子束；移动所述脉冲电子束以在多个位置处与样品相互作用，在所述多个位置中的每个位置处的所述相互作用发生持续停留时间；以及基于所述电子束的所述脉冲施加和平移使所述脉冲电子束与所述样品的所述相互作用的数据采集同步，其中所述停留时间基于所述脉冲周期的导数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： FEI公司 用于基于RF脉冲电子束的STEM的系统和方法
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