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申请/专利权人：河南省科学院;河南省科学院材料研究所
摘要：本发明提供了一种用于制备非晶包覆纳米晶合金薄膜的靶材，以原子百分比计，包括：Cr：12～25％，Mn：16～30％，Fe：10～23％，Co：9～22％，Ni：10～26％，且Cr、Mn、Fe、Co和Ni的原子百分比互不相等。本申请还提供了靶材的制备方法。本申请还提供了一种非晶包覆纳米晶合金薄膜的制备方法。本申请提供的靶材纯度高、结构致密、且使用该靶材溅射的薄膜具有非晶包覆纳米晶的双相结构，薄膜的晶体相晶粒尺寸小于10nm，非晶层厚度为1～3nm。本发明为实现高稳定性高强度等优异性能纳米晶合金薄膜的制备奠定了基础，拓宽了纳米晶合金薄膜的应用范围。
主权项：1.一种用于制备非晶包覆纳米晶合金薄膜的靶材，以原子百分比计，包括：Cr：12～25％，Mn：16～30％，Fe：10～23％，Co：9～22％，Ni：10～26％，且Cr、Mn、Fe、Co和Ni的原子百分比互不相等。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河南省科学院 河南省科学院材料研究所 一种用于制备非晶包覆纳米晶合金薄膜的靶材、其制备方法及其应用
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