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申请/专利权人：苏州海卓赛思科技有限公司
摘要：本发明公开了一种水中溶解氢气传感器及其制备方法，水中溶解氢气传感器包括PI柔性基板、两个氢敏芯片，氢敏芯片包括基底、设置在基底上的多个电化学特性相同的氢敏电阻元件、金属电极凸点，两个氢敏芯片的氢敏电阻元件组成惠斯通电桥结构；PI柔性基板部分开孔，两个氢敏芯片分别倒装连接在PI柔性基板开孔和未开孔处，金属电极凸点与PI柔性基板连接；两个氢敏芯片的背面及其周围喷涂密封胶，PI柔性基板开孔处的氢敏芯片的正面及其周围依次喷涂纳米氧化铝颗粒层和石墨烯层，PI柔性基板未开孔处的氢敏芯片位于PI柔性基板和密封胶之间的密闭腔室内。本发明的水中溶解氢气传感器结构简单，具有优良的疏水性能，较好的绝缘性，能在水中长期稳定工作。
主权项：1.一种水中溶解氢气传感器，其特征在于，包括PI柔性基板2、两个氢敏芯片1，所述氢敏芯片1包括基底13、设置在基底13上的多个电化学特性相同的氢敏电阻元件11和金属电极凸点12，所述两个氢敏芯片1的氢敏电阻元件11组成惠斯通电桥结构；所述PI柔性基板2部分开孔，所述两个氢敏芯片1分别倒装连接在所述PI柔性基板开孔21处和未开孔处，所述金属电极凸点12与所述PI柔性基板2连接；所述两个氢敏芯片1的背面及其周围喷涂密封胶5，所述PI柔性基板开孔21处的氢敏芯片的正面及其周围依次喷涂纳米氧化铝颗粒层3和石墨烯层4；所述PI柔性基板2未开孔处的氢敏芯片1位于所述PI柔性基板2和所述密封胶5之间的密闭腔室内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州海卓赛思科技有限公司 一种水中溶解氢气传感器及其制备方法
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