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申请/专利权人：基迈克材料科技(苏州)有限公司
摘要：本发明公开了一种用于半导体耐腐蚀防护涂层的复合粉及其制备方法，涉及半导体防护涂层材料制备领域，旨在解决适用于等离子喷涂制备半导体领域耐腐蚀防护涂层的问题，其技术方案要点是：1将碳化铌原料粉体球磨；2加入铌粉料并加入有机胶黏剂，继续球磨；3将料浆制成造粒粉料；4采用振动筛进行筛分，制得造粒粉料；5采用加热炉进行加热烧结；6经振动筛分，制得粒径为30‑80μm的等离子喷涂制备半导体领域耐腐蚀防护涂层用复合粉。本发明的一种用于半导体耐腐蚀防护涂层的复合粉的制备方法能够制备等离子喷涂制备半导体领域耐腐蚀防护涂层用复合粉。
主权项：1.一种用于半导体耐腐蚀防护涂层的复合粉的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1将碳化铌原料粉体加入行星式球磨机，采用碳化铌材质磨料进行球磨；2加入铌粉料，加入量为复合粉质量的10wt.％～20wt.％，并加入有机胶黏剂，继续球磨；3采用离心式喷雾造粒设备将料浆制成造粒粉料；4采用振动筛将造粒粉料进行筛分，制得造粒粉料；5采用加热炉将筛分获得造粒粉料进行加热烧结；6烧结后的粉料经振动筛分，最终制得粒径为30-80μm的等离子喷涂制备半导体领域耐腐蚀防护涂层用复合粉。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 基迈克材料科技(苏州)有限公司 一种用于半导体耐腐蚀防护涂层的复合粉及其制备方法
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