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申请/专利权人：富金森(南通)科技有限公司
摘要：本发明提供一种晶圆盘上料装置，涉及晶圆盘检测装置技术领域，所述晶圆盘上料装置包括机架、上料轨道、卸料轨道、抓手及工作台面，所述机架用于对所述上料轨道、卸料轨道及抓手进行承接，所述上料轨道与所述卸料轨道平行设置，所述工作台面在高度方向上位于所述上料轨道与所述卸料轨道之间，所述工作台面在所述上料轨道的端部及晶圆盘检测装置之间往复运动，所述抓手位于所述上料轨道的上方。通过上料轨道及卸料轨道的设置，使得在进行晶圆盘检测过程中，可以同步进行上料及卸料，保证了检测过程中，上料轨道上能够始终有晶圆盘的等待，从而提高了晶圆盘的检测效率，提高了各部件之间的工作效率。
主权项：1.一种晶圆盘上料装置，用于对晶圆盘检测装置进行晶圆盘的上料及卸料，其特征在于：包括机架、上料轨道、卸料轨道、抓手及工作台面，所述机架用于对所述上料轨道、卸料轨道及抓手进行承接，所述上料轨道与所述卸料轨道平行设置，所述工作台面在高度方向上位于所述上料轨道与所述卸料轨道之间，所述工作台面在所述上料轨道的端部及晶圆盘检测装置之间往复运动，所述抓手位于所述上料轨道的上方，所述抓手用于抓取晶圆盘，使其在所述上料轨道、卸料轨道及工作台面之间移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 富金森(南通)科技有限公司 一种晶圆盘上料装置
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