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水平电镀装置 

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申请/专利权人:上海普达特设备科技有限公司;上海普达特半导体设备有限公司

摘要:本发明提供一种水平电镀装置,包括电镀槽、阳极、传输滚轮及阴极组件,其中,阴极组件包括阴极片、汇流槽、回流管、集液槽及泵体;阳极及传输滚轮设置于电镀槽内;汇流槽的顶面不超出传输滚轮所在水平面;阴极片位于汇流槽中且与传输滚轮具有同一水平面以与电池片边缘接触;集液槽与汇流槽通过回流管相连,且集液槽与泵体相连。本发明通过与电池片边缘接触的阴极片可有效增加电镀接触面积,提高镀层质量;相互连通的集液槽、回流管及汇流槽可通过泵体实现电镀液的循环流动,且可便捷的实现对阴极片的解镀;间隔设置的汇流槽及阴极片可有效解决电场边缘效应,提升镀层质量,实现整面电镀;可有效减少设备占地面积、降低成本。

主权项:1.一种水平电镀装置,其特征在于,所述水平电镀装置包括:电镀槽;阳极,所述阳极设置于所述电镀槽内;传输滚轮,所述传输滚轮设置于所述电镀槽内,用以传输电池片;阴极组件,所述阴极组件包括阴极片、汇流槽、回流管、集液槽及泵体,且所述阴极片具有与所述电池片边缘接触的接触面;其中,所述汇流槽的顶面不超出所述传输滚轮所在水平面;所述阴极片位于所述汇流槽中,且所述接触面与所述传输滚轮具有同一水平面,以与所述电池片边缘接触;所述集液槽与所述汇流槽通过所述回流管相连,且所述集液槽与所述泵体相连。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 上海普达特设备科技有限公司 上海普达特半导体设备有限公司 水平电镀装置

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