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弹性波装置 

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申请/专利权人:株式会社村田制作所

摘要:弹性波装置具备:支承基板,在内部具有空洞部;压电体层,设置在支承基板上;功能电极,设置在压电体层上,该功能电极的至少一部分在沿着支承基板和压电体层的层叠方向观察的俯视下与空洞部重叠;以及至少1个构造体,设置在压电体层上,热线膨胀系数比压电体层小。构造体包含如下的区域,即,位于压电体层的设置有功能电极的区域以外的区域并且在沿着层叠方向观察的俯视下不与空洞部重叠的区域。

主权项:1.一种弹性波装置,具备:支承基板,在一个主面具有空洞部;压电体层,设置在所述支承基板的一个主面上;功能电极,设置在所述压电体层上,该功能电极的至少一部分在沿着所述支承基板和所述压电体层的层叠方向观察的俯视下与所述空洞部重叠;以及至少1个构造体,设置在所述压电体层上,热线膨胀系数比所述压电体层小,所述构造体包含如下的区域,即,位于所述压电体层的设置有所述功能电极的区域以外的区域并且在所述俯视下不与所述空洞部重叠的区域。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社村田制作所 弹性波装置

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