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申请/专利权人：华为技术有限公司
摘要：一种束斑测量方法，包括：获取探测器输出的信号变化，探测器与电子束产生系统之间设置有遮挡元件，遮挡元件用于遮挡电子束产生系统发射的电子束，遮挡元件中设置有允许电子束穿过的至少一个第一间隙，信号变化包括电子束扫过遮挡元件的过程中探测器检测到信号变化的波形；根据信号变化的第一波形定位电子束的束斑在探测器上扫过的目标区域，第一波形为束斑扫过目标第一间隙序列所产生的波形，遮挡元件的不同位置设置有不同的第一间隙序列，目标第一间隙序列为遮挡元件中的一个第一间隙序列。还提供一种装置、设备及介质，能够通过间隙序列使得探测器对束斑的位置进行定位，从而高效精确地测量多电子束系统中各个电子束的位置。
主权项：一种束斑测量方法，其特征在于，包括：获取探测器输出的信号变化，所述探测器与电子束产生系统之间设置有遮挡元件，所述遮挡元件用于遮挡所述电子束产生系统发射的电子束，所述遮挡元件中设置有允许所述电子束穿过的至少一个第一间隙，所述信号变化包括所述电子束扫过所述遮挡元件的过程中所述探测器检测到信号变化的波形；根据所述信号变化的第一波形定位所述电子束的束斑在所述探测器上扫过的目标区域，所述第一波形为所述束斑扫过目标第一间隙序列所产生的波形，所述遮挡元件的不同位置设置有不同的第一间隙序列，所述目标第一间隙序列为所述遮挡元件中的一个第一间隙序列，每一所述第一间隙序列包括至少一个第一间隙和设置在所述第一间隙之间的第一间距，不同的所述第一间隙序列之间所述第一间隙与所述第一间距的排列组合方式不同。
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权利要求：
百度查询： 华为技术有限公司 一种束斑测量方法、装置、设备及介质
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