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申请/专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要：本发明提供一种基于角分辨散射的光滑表面粗糙度测量仪器及其测量方法，涉及测量设备技术领域，包括大靶面相机、光源、光束中止器以及旋转平台，所述待测样品放在旋转平台上，所述光源光束以一定的入射角射向待测样品，所述大靶面相机收集光束经过待测样品的角分辨散射场分布，所述光束中止器吸收光束经过待测样品的镜面反射光；所述光源和大靶面相机在旋转平台上方的检测半球空间中的不同极角和方位角布置有多组。每个光源和大靶面相机的组合均可收集到Ewald球的一部分信息，通过合理设计，一系列被测Ewald球在Kx,Ky平面的投影可覆盖高频乃至全频段范围，从而实现快速、高频乃至全频段的均方根粗糙度测量。
主权项：1.一种基于角分辨散射的光滑表面粗糙度测量仪器，其特征在于，包括：光源模块，用于出射平面波，并以一定的入射角入射至待测样品表面；大靶面相机，用于收集光束经过待测样品的角分辨散射场分布；光束中止器，用于吸收光束经过待测样品的镜面反射光；旋转平台，用于放置待测样品，并允许待测样品在检测半球空间内进行旋转；其中，所述光源模块和大靶面相机在所述旋转平台上方的检测半球空间中的不同极角和方位角布置有多组，以收集Ewald球的不同部分信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院上海光学精密机械研究所 基于角分辨散射的光滑表面粗糙度测量仪器及其测量方法
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