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申请/专利权人：润马光能科技(金华)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种ALD气流的改善装置，其中包括炉体、风罩、实心载板和匀流盒，所述炉体左侧固定连接有尾排管道，所述匀流盒设置于炉体内部左侧，所述匀流盒为不锈钢制品，中间镂空设计，所述匀流盒左侧小右侧大呈漏斗形态，所述匀流盒左侧与炉体内部形状尺寸匹配，所述匀流盒右侧与尾排管道形状尺寸匹配，所述匀流盒面向炉门一侧开设有孔洞，该装置解决了当前ALD气流不均匀的问题。
主权项：1.一种ALD气流的改善装置，包括炉体1、风罩3、实心载板6和匀流盒7，其特征在于：所述炉体1左侧固定连接有尾排管道8，所述匀流盒7设置于炉体1内部左侧，所述匀流盒7为不锈钢制品，中间镂空设计，所述匀流盒7左侧小右侧大呈漏斗形态，所述匀流盒7左侧与炉体1内部形状尺寸匹配，所述匀流盒7右侧与尾排管道8形状尺寸匹配，所述匀流盒7面向炉门2一侧开设有孔洞9。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 润马光能科技(金华)有限公司 一种ALD气流的改善装置
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