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申请/专利权人：华中师范大学
摘要：本发明公开了一种偏振表征的太赫兹传感器、检测系统及检测方法，所述传感器包括，衬底；所述衬底的一面设置有超材料结构，所述超材料结构包括若干周期性单元，所述周期性单元包括一个带有开口的谐振环和一个栅，所述栅位于所述谐振环的开口处，且所述谐振环和所述栅的中心与所述周期性单元的中心存在偏移。本发明的传感器引入了偏振表征方式，偏振控制的精度与时域光谱的测量精度无关，解决了传统的太赫兹传感器受限于时域光谱测量精度的问题。本发明的传感器基于非厄米原理传感，但仅有单层结构构成耦合系统，解决了多层结构加工难度高的，成本高的问题。
主权项：1.一种偏振表征的太赫兹传感器，其特征在于，包括，衬底；所述衬底的一面设置有超材料结构，所述超材料结构包括若干周期性单元，所述周期性单元包括一个带有开口的谐振环和一个栅，所述栅位于所述谐振环的开口侧，且所述谐振环和所述栅的中心与所述周期性单元的中心存在偏移；所述谐振环为带开口的矩形环，其外边长为30~120μm，外边宽为25~100μm，线宽为5~20μm，开口尺寸为5~20μm，所述谐振环距离所述周期性单元的中心横向偏移为8~35μm，纵向偏移为5~40μm；所述栅为长方形条状，其长为35~140μm，宽为5~20μm，所述栅距离所述周期性单元的中心横向偏移10~80μm，纵向不设置偏移；所述谐振环和所述栅的厚度为0.1~0.5μm；所述周期性单元在横向的重复距离为50~200μm，在纵向的重复距离为40~160μm。
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百度查询： 华中师范大学 一种偏振表征的太赫兹传感器、检测系统及检测方法
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