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申请/专利权人：环诚智能装备(成都)有限公司

摘要：本发明公开了一种真空晶圆键合机，涉及晶圆生产技术领域。本发明包括外框，所述外框的顶部设置有电动伸缩杆一，所述外框的内壁固定连接有真空腔体，所述真空腔体的侧面设置有侧门，所述侧门的前侧设置有透明视窗，所述电动伸缩杆一的伸缩端外壁与真空腔体的顶部固定连接有密封件，所述电动伸缩杆一的伸缩端贯穿真空腔体的顶部，所述电动伸缩杆一的伸缩端固定连接有安装板，所述安装板的底部固定连接有硅胶气囊。本发明通过防夹伤装置的设置，使摩擦块与摩擦板接触的时候，摩擦块与摩擦板的阻力增大，阻力的增大会使限位块难以向晶体的方向进行移动，从而避免了因为夹持力过大而导致晶体弯曲的问题。

主权项：1.一种真空晶圆键合机，包括外框（1），所述外框（1）的顶部设置有电动伸缩杆一（2），所述外框（1）的内壁固定连接有真空腔体（6），所述真空腔体（6）的侧面设置有侧门（7），所述侧门（7）的前侧设置有透明视窗（8），所述电动伸缩杆一（2）的伸缩端外壁与真空腔体（6）的顶部固定连接有密封件（9），所述电动伸缩杆一（2）的伸缩端贯穿真空腔体（6）的顶部，所述电动伸缩杆一（2）的伸缩端固定连接有安装板（10），所述安装板（10）的底部固定连接有硅胶气囊（11），所述真空腔体（6）的内壁底部固定连接有放置板（12），其特征在于：所述真空腔体（6）的内壁底部设置有防夹伤装置（3），所述防夹伤装置（3）包括两个固定块（31），两个所述固定块（31）的底部固定连接在真空腔体（6）的底部内壁上，两个所述固定块（31）的侧面均固定连接有电动伸缩杆二（32），所述电动伸缩杆二（32）的伸缩端固定连接有限位块（33），所述限位块（33）的内壁贯穿且滑动有T形杆（34），所述T形杆（34）的一端固定连接有接触块（35），所述T形杆（34）与限位块（33）之间设置有弹簧，所述接触块（35）靠近限位块（33）的一面铰接有铰接杆一（36），所述铰接杆一（36）远离接触块（35）的一端铰接有摩擦块（37），所述限位块（33）的内壁开设有用于摩擦块（37）移动的滑槽，所述真空腔体（6）的内壁底部固定连接有摩擦板（38），所述接触块（35）的底部与放置板（12）的顶部相接触，所述摩擦板（38）位于摩擦块（37）的位移轨迹上。

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