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申请/专利权人：信阳朗迅新材料技术有限公司
摘要：本发明涉及卧式热场炉领域，尤其涉及一种卧式热场炉用细丝环布结构。技术问题：现有卧式热场炉在使用时，会因为硅片进入卧式热场炉的内部，硅片会吸热温度以使温场产生浮动，从而使得变化的温场影响到内部硅片的镀膜，进而影响到整个卧式热场炉工作效率的问题。技术方案：一种卧式热场炉用细丝环布结构，包括有安装组件；所述安装组件包括安装盘；所述安装组件的下端设置有两个第一调节组件；所述第一调节组件包括第一调节架。本发明通过设置特殊的可调节式细丝环布结构来代替原有的均布式环布结构，以使得加热丝可以通过间距不一的形式使温度可以在短时间内通过密集的加热丝进行快速升温，使炉内温场达到工艺需求。
主权项：1.一种卧式热场炉用细丝环布结构，包括有安装组件（1）；其特征在于：所述安装组件（1）包括安装盘（101）；所述安装组件（1）的下端设置有两个第一调节组件（4）；所述第一调节组件（4）包括第一调节架（407）；两个所述第一调节组件（4）之间设置有两个第二调节组件（5）；所述第二调节组件（5）包括第二调节架（504）；所述第二调节组件（5）与第一调节组件（4）呈交替式布置；所述第二调节组件（5）与第一调节组件（4）上均设置有电热丝组件（6）；所述电热丝组件（6）包括滑动槽（601）；所述第一调节架（407）与第二调节架（504）上均开设有第二调节架（504）与滑动槽（601）；所述滑动槽（601）的内侧滑动连接有多个滑动块（602）；所述滑动块（602）的下端设置有电热细丝（603）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 信阳朗迅新材料技术有限公司 一种卧式热场炉用细丝环布结构
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