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申请/专利权人：佘世尧
摘要：本申请提出一种振动电镀装置及振动电镀系统。该装置包括转动轴、振盘和多组阴极柱；转动轴用于连接振动源；振盘的侧壁围设于底板上以形成收容腔，转动轴延伸至收容腔内且与底板连接；振盘的底板和或侧壁设有筛孔；底板包括沿振动源的螺旋方向依次设置的低位区、过渡区和高位区；振盘的分料件设置于收容腔内并位于低位区的上方，其弧形桥面的两端分别连通高位区和过渡区；阴极柱延伸至收容腔内且暴露于底板。本申请可增大电镀液的流动量，降低在沉积过程中出现氧化现象的风险，提高产品及电镀媒介在振盘中的交换性，改善镀层及产品的品质。
主权项：1.一种振动电镀装置，其特征在于，包括：转动轴，所述转动轴的一端用于连接振动源；振盘，包括底板、侧壁及提供有弧形桥面的分料件；所述侧壁围设于所述底板上以形成收容腔，所述转动轴的另一端延伸至所述收容腔内且与所述底板连接；所述底板和或所述侧壁设置有筛孔；所述底板包括沿所述振动源的螺旋方向依次设置的低位区、过渡区和高位区；所述分料件设置于所述收容腔内并位于所述低位区的上方，且所述弧形桥面的两端分别连通所述高位区和过渡区，以形成穿过所述分料件下方且连通所述高位区和过渡区的通道；多组阴极柱，延伸至所述收容腔内且暴露于所述底板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佘世尧 振动电镀装置及振动电镀系统
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