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申请/专利权人：福建技术师范学院
摘要：本发明提供的一种湿度传感单元、湿度传感器及其制备方法，其湿度传感单元，从上到下依次包括电极、裂纹化的压阻碳薄膜以及由亲水性交联高分子材料制成的湿敏薄膜，所述压阻碳薄膜与所述湿敏薄膜之间经由表面处理后进行结合。本发明以具有优良吸湿和力学性能的亲水性交联高分子为湿敏材料以及具有高压阻敏感系数和电子导电的裂纹化的碳膜所制备的双层结构传感单元，相较于传统的电阻阻抗型低湿传感器，本发明具有良好的低湿检测能力，可对0～50％的低湿度进行连续监测，同时具有高灵敏度、高线性度、快速响应恢复、低湿滞等优点。
主权项：1.一种湿度传感单元，其特征在于，从上到下依次包括电极、裂纹化的压阻碳薄膜以及由亲水性交联高分子材料制成的湿敏薄膜，所述压阻碳薄膜和所述湿敏薄膜经由表面处理后进行结合。
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权利要求：
百度查询： 福建技术师范学院 湿度传感单元、湿度传感器及其制备方法
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