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申请/专利权人：拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司
摘要：本发明公开了一种阀门互锁装置及阀门控制方法。其中，阀门互锁装置包括：第一阀门组件，其包括第一气动阀及第一气控阀，所述第一气动阀及所述第一气控阀均用于与第一隔膜阀连接；第二阀门组件，其包括第二气动阀及第二气控阀，所述第二气动阀及所述第二气控阀均用于与第二隔膜阀连接；其中，所述第一气动阀与所述第二气控阀连接，所述第一气控阀与所述第二气动阀连接，实现所述第一隔膜阀和所述第二隔膜阀的阀门互锁。本发明通过第一气动阀、第二气动阀、第一气控阀以及第二气控阀实现第一隔膜阀和第二隔膜阀的阀门互锁，相比现有技术中的只通过气动阀对第一隔膜阀和第二隔膜阀进行机械互锁的阀门互锁方式，确保了阀门的快速互锁及频繁切换。
主权项：1.一种阀门互锁装置，其特征在于，包括：第一阀门组件，其包括第一气动阀及第一气控阀，所述第一气动阀及所述第一气控阀均用于与第一隔膜阀连接；第二阀门组件，其包括第二气动阀及第二气控阀，所述第二气动阀及所述第二气控阀均用于与第二隔膜阀连接；其中，所述第一气动阀与所述第二气控阀连接，所述第一气控阀与所述第二气动阀连接，实现所述第一隔膜阀和所述第二隔膜阀的阀门互锁。
全文数据：
权利要求：
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