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申请/专利权人：株式会社日立高新技术
摘要：本发明提供一种分析装置，在停止向真空泵供电时，能够通过简单的结构降低气体向真空泵的流入量。分析装置100包括：产生带电粒子的带电粒子产生源2；内部为真空的真空室16、19、28；将带电粒子从带电粒子产生源2导入真空室16的细孔7；以及与真空室16、19、28连接的真空泵18、22，在分析装置100中，包括能够密封细孔7的密封栓41，密封栓41在停止向真空泵18、22通电时密封细孔7。
主权项：1.一种分析装置，包括：产生带电粒子的带电粒子产生源；内部为真空的真空室；将所述带电粒子从所述带电粒子产生源导入所述真空室的细孔；以及与所述真空室连接的真空泵，所述分析装置的特征在于，包括能够密封所述细孔的密封栓，所述密封栓在停止向所述真空泵通电时，对所述细孔进行密封。
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百度查询： 株式会社日立高新技术 分析装置
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