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一种波导集成胶体量子点红外探测器 

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申请/专利权人:苏州微光电子融合技术研究院有限公司

摘要:本发明涉及一种波导集成胶体量子点红外探测器,包括:光波导,所述光波导上沉积有二氧化硅薄膜,所述二氧化硅薄膜上成型有光波导,所述二氧化硅薄膜上设有底电极,所述底电极覆盖在光波导上,所述底电极上位于光波导的正上方覆盖有胶体量子点薄膜,所述胶体量子点薄膜上覆盖有顶电极,所述顶电极另一端延伸至二氧化硅薄膜上。通过顶电极、胶体量子点薄膜以及底电极实现红外光的吸收和产生电子空穴对,产生对外的光电流。

主权项:1.一种波导集成胶体量子点红外探测器,其特征在于,包括:第一光波导,所述第一光波导上沉积有二氧化硅薄膜,所述二氧化硅薄膜上成型有第二光波导,所述二氧化硅薄膜上设有底电极,所述底电极覆盖在第二光波导上,所述底电极上位于第二光波导的正上方覆盖有胶体量子点薄膜,所述胶体量子点薄膜上覆盖有顶电极,所述顶电极另一端延伸至二氧化硅薄膜上。

全文数据:

权利要求:

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