龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：深圳豪威显示科技有限公司
摘要：本发明公开了用于溅射系统的重质玻璃托盘，涉及溅射技术用装置领域，包括溅射工作腔体，溅射工作腔体一侧设置有控制器，溅射工作腔体内部设置有工作台，工作台顶面设置有托盘组件，托盘组件一侧设置有移动组件，托盘组件包括滑动连接于工作台顶面的底板，底板中部设置有长槽，且长槽内腔转动连接有第一正反牙丝杆，且第一正反牙丝杆一端穿过底板且延伸至底板外侧，第一正反牙丝杆外周还螺纹连接有第一移动块，且第一移动块设置有两组，这种设置通过两组吸附部件可对不同尺寸的基板进行定位工作，代替传统夹具夹持的模式，避免夹具会占用到基板的空间，使得基板顶部表面成膜效率大大提升，提升了托盘的适用范围。
主权项：1.用于溅射系统的重质玻璃托盘，包括溅射工作腔体1，所述溅射工作腔体1一侧设置有控制器11，所述溅射工作腔体1内部设置有工作台12，其特征在于：所述工作台12顶面设置有托盘组件2，所述托盘组件2一侧设置有移动组件3，所述托盘组件2包括滑动连接于所述工作台12顶面的底板21，所述底板21中部设置有长槽22，且所述长槽22内腔转动连接有第一正反牙丝杆23，且所述第一正反牙丝杆23一端穿过所述底板21且延伸至所述底板21外侧，所述第一正反牙丝杆23外周还螺纹连接有第一移动块24，且所述第一移动块24设置有两组，两组所述第一移动块24滑动连接于所述长槽22内部，两组所述第一移动块24顶面均固定连接有安装腔体25，两组所述安装腔体25一侧均设置有吸附部件26；所述移动组件3包括固定连接于所述工作台12顶面的支撑腔盒32，所述支撑腔盒32一侧安装有第二电机31，所述支撑腔盒32一侧设置有通槽34，所述通槽34内腔转动连接有第二丝杆33，且所述第二电机31与所述控制器11电性连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳豪威显示科技有限公司 用于溅射系统的重质玻璃托盘
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号