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申请/专利权人：中能兴盛(香河)机电设备有限公司
摘要：本发明涉及蒸发源技术领域，具体为一种用于OLED蒸镀的旋转蒸发源装置及方法，包括蒸发源本体以及与其适配的坩埚，蒸发源本体的上方且位于坩埚的外表面设置有环壳，环壳的内部转动连接有旋转盘，旋转盘的内壁固定连接有内凸条，坩埚的外表面均匀固定连接有多个与内凸条适配的橡胶凸块，环壳的顶部设置有驱动旋转盘旋转的动力组件，坩埚的顶部连通有多个排气软管，多个排气软管的一端均连通有喷头，环壳的上方设置有活动架，活动架的底部设置有多个驱动喷头移动的调节曲柄，环壳的外表面均匀固定连接有多个输气筒，活动架的上方设置有可与输气筒连通的受气筒，受气筒的底部设置有驱动活动架升降的驱动组件。驱动组件可有效改变多个喷头的位置。
主权项：1.一种用于OLED蒸镀的旋转蒸发源装置，包括蒸发源本体100以及与其适配的坩埚101，其特征在于：所述蒸发源本体100的上方且位于坩埚101的外表面设置有环壳200，所述环壳200的内部转动连接有旋转盘204，所述旋转盘204的内壁固定连接有内凸条205，所述坩埚101的外表面均匀固定连接有多个与内凸条205适配的橡胶凸块104，所述环壳200的顶部设置有驱动旋转盘204旋转的动力组件，所述坩埚101的顶部连通有多个排气软管102，多个所述排气软管102的一端均连通有喷头103，所述环壳200的上方设置有活动架300，所述活动架300的底部设置有多个驱动喷头103移动的调节曲柄301，所述环壳200的外表面均匀固定连接有多个输气筒313，所述活动架300的上方设置有可与输气筒313连通的受气筒309，所述受气筒309的底部设置有驱动活动架300升降的驱动组件，所述坩埚101的内部设置有搅拌叶402。
全文数据：
权利要求：
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