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申请/专利权人：内蒙古亨芯石英有限公司;江苏亨芯石英科技有限公司
摘要：本发明公开了一种沉积高纯石英环的装置及方法，包括沉积反应炉、燃烧器、支撑芯杆、支撑件和沉积基底；沉积反应炉内设置反应腔，沉积反应炉顶部设置开口，燃烧器固定安装在沉积反应炉的顶部；所述支撑芯杆下部设置于反应腔内，上部由沉积反应炉顶部的开口伸出；支撑件设置凹槽，支撑芯杆的底端伸入凹槽内，支撑件的底部连接旋转升降机构；沉积基底套设在支撑芯杆上，且沉积基底的底面与支撑件的顶面接触连接。本发明在沉积反应炉内设置支撑芯杆，将沉积基底套设在支撑芯杆上，实现了无实芯沉积砣的制备，便于石英环产品的制造加工，提高生产效率、减少材料浪费、降低生产成本；支撑芯杆表面设置镀碳层，便于支撑芯杆由沉积砣中抽离。
主权项：1.一种沉积高纯石英环的装置，其特征在于，包括沉积反应炉、燃烧器、支撑芯杆、支撑件和沉积基底；所述沉积反应炉内设置反应腔，所述沉积反应炉顶部设置开口，所述沉积反应炉底部设置炉底口；所述燃烧器固定安装在所述沉积反应炉的顶部，所述燃烧器的灯口伸入所述反应腔内并向反应腔的中心轴线方向倾斜设置；所述支撑芯杆下部设置于所述反应腔内，所述支撑芯杆的上部由所述沉积反应炉顶部的开口伸出；所述支撑件设置开口朝上的凹槽，所述支撑芯杆的底端伸入并固定在所述凹槽内，所述支撑件的底部连接旋转升降机构；所述沉积基底套设在所述支撑芯杆上，且所述沉积基底的底面与所述支撑件的顶面接触连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 内蒙古亨芯石英有限公司 江苏亨芯石英科技有限公司 一种沉积高纯石英环的装置及方法
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